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外驱动双向推力型压电步进精密驱
  • 期刊名称:光学精密工程.14(4).652-657,2006年8月(EI收录064410214263)
  • 时间:0
  • 相关项目:新式微型惯性压电移动机构驱动理论及实验研究
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