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Design and FEM analysis of weighted -stiffness MEMS digital-to-analog converters
  • 期刊名称：Electronics Letters
  • 时间：0
  • 页码：37(12), 755 -756，2001
  • 语言：英文
  • 相关项目：表面加工多晶硅微机械数/模转换器的理论与实践
作者： 刘清惓|黄庆安|
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