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一种横向驱动多晶硅热执行器的有限元分析
  • 期刊名称：压电与声光
  • 时间：0
  • 页码：no.3, 167 -170，2001
  • 语言：中文
  • 相关项目：表面加工多晶硅微机械数/模转换器的理论与实践
作者： 刘清惓|黄庆安|
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