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空气阻尼对微谐振器品质因子及其传输函数的影响
  • 期刊名称:电子学报
  • 时间:0
  • 页码:vol.30, no.6, pp.827-10, 2002
  • 语言:中文
  • 相关项目:表面加工多晶硅微机械数/模转换器的理论与实践
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