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静电驱动纵向微机械数模转换器设计
  • 期刊名称：半导体学报,录用
  • 时间：0
  • 语言：中文
  • 相关项目：表面加工多晶硅微机械数/模转换器的理论与实践
作者： 王立锋|黄庆安|
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表面加工多晶硅微机械数/模转换器的理论与实践
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