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Fabrication of Fresnel zone plates with high aspect ratio by soft X-ray lithography
  • ISSN号：0946-7076
  • 期刊名称：Microsystem Technologies-Micro-And Nanosystems-Inf
  • 时间：0
  • 页码：1251-1255
  • 语言：英文
  • 相关项目：同步辐射X射线显微成像波带制作关键技术研究
作者： Huang, Xinlong|Tian, Yangchao|Chen, Jie|Liu, Longhua|Kang, Chunlei|Liu, Gang|Xiong, Ying|
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期刊论文 16
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