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The Hardness of Amorphous Si-DLC Films by Molecular Dynamies Simulations
  • ISSN号：1000-2413
  • 期刊名称：《武汉理工大学学报：材料科学英文版》
  • 时间：0
  • 分类：O484[理学—固体物理;理学—物理] TB383[一般工业技术—材料科学与工程]
  • 作者机构：[1]School of Mechanical, Electronic and Control Engineering, Beijing ,Jiaotong University. Beijing 100044, China, [2]Institute of Higher Energy Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China
  • 相关基金：Funded by the National Natural Science Foundation of China （No.50805007） and the Fundamental Research Funds for the Central Universities, China （No.2013JBM074）
作者： LAN Huiqing[1], LIU Can[1,2]
关键词： DLC薄膜, 分子动力学, 硬度, 模拟, 类金刚石碳, DLC膜, 非晶, 类金刚石薄膜, diamond-like carbon film, molecular dynamics, silicon, hardness
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期刊信息
  • 《武汉理工大学学报：材料科学英文版》
  • 中国科技核心期刊
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  • 主办单位:武汉理工大学
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  • 国际标准刊号：ISSN：1000-2413
  • 国内统一刊号：ISSN：42-1680/TB
  • 邮发代号:38-78
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 被引量:149