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X-ray Reciprocal Space Mapping and Synchrotron Radiation Topography of Strained Si/Si1-xGex on Bonde
  • 期刊名称：ECS Transactions
  • 时间：0
  • 页码：485-490
  • 语言：中文
  • 相关项目：SOI衬底上SiGe异质结构的应变弛豫机制
作者： 马通达|
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SOI衬底上SiGe异质结构的应变弛豫机制
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