东篱科研大数据发现系统（DRDS）

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基于UV-LIGA技术的电磁型射频MEMS开关的集成制作

ISSN号：1003-8213
期刊名称：微细加工技术
时间：0
页码：43-48
语言：中文
分类：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学] TP271.+4[自动化与计算机技术—控制科学与工程;自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
作者机构：[1]华东师范大学,微电子电路与系统研究所,上海,200062 华东师范大学,微电子电路与系统研究所,上海,200062 上海交通大学微纳科学技术研究院,上海,200030 上海交通大学微纳科学技术研究院,上海,200030 上海交通大学微纳科学技术研究院,上海,200030 华东师范大学,微电子电路与系统研究所,上海,200062
相关基金：国家863计划资助项目(2003AA404140);信息产业部电科院预研资助项目(41308050116);国家自然科学基金资助项目(60676047);上海-应用材料研究发展基金资助项目(06SA11);上海交通大学优秀博士学位论文基金资助项目
相关项目：微波MEMS分形共平面可调滤波技术研究