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双向横向热执行器结构设计

ISSN号：1003-8213
期刊名称：微细加工技术
时间：0
页码：61-64
语言：中文
分类：TH703.8[机械工程—仪器科学与技术;机械工程—精密仪器及机械]
作者机构：中国科学技术大学,工程学院,合肥,230027, 中国科学院合肥智能机械研究所,仿生感知与控制研究中心,合肥,230031 中国科学技术大学,工程学院,合肥,230027, 中国科学院合肥智能机械研究所,仿生感知与控制研究中心,合肥,230031 中国科学院合肥智能机械研究所,仿生感知与控制研究中心,合肥,230031 中国科学院合肥智能机械研究所,仿生感知与控制研究中心,合肥,230031 中国科学院合肥智能机械研究所,仿生感知与控制研究中心,合肥,230031 中国科学技术大学,工程学院,合肥,230027
相关基金：国家自然科学基金资助项目(90407018);国家重点基础研究发展计划973资助项目(2006CB300407)
相关项目：一种基于MEMS技术的检测痕量固态爆炸物蒸气的新方法和实验研究

中文摘要：

在传统非对称冷热梁结构横向热执行器的基础上,提出了一种能实现双向横向运动的热执行器.采用对称结构设计,主要由折叠柔性梁、直柔性梁、宽梁和连接梁构成,通过选择加热臂,可以控制结构的偏转方向,实现双向推挽运动.在典型尺寸下,仿真结果显示,在20 mW驱动作用下,产生的末端位移9.55 μm,驱动力9.4μN,其性能与单向横向执行器相当.同时还进行了结构优化分析.

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