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Study on the Third-Order Nonlinear Enhancement of SiN Films
ISSN号:1003-353X
期刊名称:半导体技术
时间:0
页码:418-422
语言:中文
相关项目:纳米Si-SiNx复合薄膜和Si/SiNx多量子阱材料制备和非线性光学性质研究
作者:
Song, Jiangting, Guo ,Hengqun, Wang, Jiaxian, Wu ,|
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期刊论文 19
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期刊信息
《半导体技术》
中国科技核心期刊
主管单位:中国电子科技集团公司
主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
主编:赵小玲
地址:石家庄179信箱46分箱
邮编:050051
邮箱:informax@heinfo.net
电话:0311-87091339
国际标准刊号:ISSN:1003-353X
国内统一刊号:ISSN:13-1109/TN
邮发代号:18-65
获奖情况:
中文核心期刊,中国科技论文统计用刊
国内外数据库收录:
俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
被引量:6070