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Enhanced charge storage characteristics of silicon nanocrystals fabricated by electron-beam coevapor
  • ISSN号:1071-1023
  • 期刊名称:JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
  • 时间:2009.11
  • 页码:2462-2467
  • 相关项目:基于电子束共蒸发法制备高K介质层中的硅纳米晶的物性及存储器应用研究
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