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Structural, mechanical and tribological characterizations of a/C:H:Si films prepared by a hybrid PEC
  • 期刊名称:J. Phys. D: Appl. Phys
  • 时间:0
  • 页码:457-460
  • 语言:英文
  • 相关项目:空间润滑材料与技术研究
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