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双材料微梁阵列非制冷红外成像技
  • 期刊名称：实验力学, 20(增刊), pp4-10, 2005
  • 时间：0
  • 相关项目：基于MEMS的光学读出红外成像研究
作者： 郭哲颖，段志辉，张青川*，伍小
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