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中文摘要：
本文给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件——微悬臂梁阵列的设计和制作，它是SiNx／Au双材料单层膜结构，简化制作工艺、可以直接在空气中成像。实验使用了设计制作的140×98微梁阵列和高信噪比的12-bitCCD，得到120℃以上的物体热像，噪声等效温度差（NETD）为5K左右，实验结果与热机械模型预测结果一致。
英文摘要：
This paper presents a design and fabrication of one-layer bimaterial micro-cantilever array made of silicon nitride （SiNx） and gold （Au） used for uncooled optically readable infrared fIR） imaging system, which simplifies the fabrication process and eliminates the influence of air conduction on IR imaging. The experimental results with the micro-cantilever array of 140 × 98 elements and 12- bit CCD indicate that the objects at the temperature of higher than 120℃ can be detected and the noise-equivalent temperature difference （NETD） of the device is -5K. Also, the experimental results are well accordant with the thermomechanical design of microrcantilever array.
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