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双材料微梁阵列非制冷红外成像技术——微梁阵列热变形的光学读出
  • ISSN号:1001-4888
  • 期刊名称:《实验力学》
  • 时间:0
  • 分类:TN216[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]中国科学技术大学、中科院材料力学行为和设计重点实验室,合肥230027, [2]北京微电子中心,北京100029
  • 相关基金:本项目是在自然科学重点基金(10232030)和面上基金(50076040和10472111)的支持下完成的
中文摘要:

针对双材料微梁阵列非制冷红外成像技术的光学读出系统,提出了在谱平面上进行刀口滤波将阵列转角转化为像平面上光强变化的高灵敏度测量技术,并对光学探测灵敏度进行了理论分析。利用该光学读出系统在实验中得到了120℃红外物体的热图像。通过对实验结果的分析和图像处理消除噪声技术,得到该系统在成像温度范围的噪声等效温度差(NETD)约为5K。并对系统噪声进行了讨论。

英文摘要:

An optical readout technique used in bimaterial uncooled infrared imaging system, which translates the incline angle of micro cantilever array to the intensity in image plane by knife edge filtering operation in spectrum plane, is presented. The sensitivity of the system is analyzed. A thermal image of about 120℃ object is obtained by the presented system. The image process is used to eliminate the effects of noise. The noise equivalent temperature deference (NETD) in 120℃ is about 5K. The influence and resolution of system noise is discussed.

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期刊信息
  • 《实验力学》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科协
  • 主办单位:中国力学学会 中国科学技术大学
  • 主编:于起峰
  • 地址:安徽省合肥市金寨路96号中国科技大学
  • 邮编:230026
  • 邮箱:sylx@ustc.edu.cn
  • 电话:0551-3601246
  • 国际标准刊号:ISSN:1001-4888
  • 国内统一刊号:ISSN:34-1057/O3
  • 邮发代号:26-57
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:6587