位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
SF6/O2气氛下Al对反应离子刻蚀Si
  • 期刊名称：微细加工技术，Vol. No.1, pp.56-59 (EI).
  • 时间：0
  • 相关项目：超高灵敏度光致形变微梁- - 纳米膜气敏传感器的研究
作者： 程正喜，郭育林
同期刊论文项目
超高灵敏度光致形变微梁- - 纳米膜气敏传感器的研究
期刊论文 12 会议论文 5
同项目期刊论文
Gas Sensors Based on Nanosized
氢离子注入GaAs晶片表面剥离机理
Modeling of Photoinduced Defor
多层膜微结构热应力计算
The effect of DC bias on the r
三维神经微电极阵列新制作技术研究
MEMS神经元微探针研究
多层薄膜微结构热应力计算
SF6/O2气氛下Al对反应离子刻蚀Si的增强作用机理研究
光致硅微悬臂梁形变理论研究
沸石分子筛修饰的QCM类神经毒气传感器