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Investigation of surface and subsurface damage in diamond grinding of optical glass using hybrid cop
  • ISSN号：1071-1023
  • 期刊名称：Journal of Vacuum Science & Technology B
  • 时间：0
  • 页码：1489-1495
  • 语言：英文
  • 相关项目：微结构功能表面的金刚石超精密加工技术
作者： Qingliang Zhao|Junyun Chen|
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微结构功能表面的金刚石超精密加工技术
期刊论文 17 会议论文 7 专利 2
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