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透明非晶态氧化物半导体薄膜晶体管的研究进展
  • ISSN号:1007-2780
  • 期刊名称:《液晶与显示》
  • 时间:0
  • 分类:TN911.72[电子电信—通信与信息系统;电子电信—信息与通信工程]
  • 作者机构:[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所北方液晶工程研究开发中心,吉林长春130031, [2]中国科学院研究生院,北京100039
  • 相关基金:国家自然科学基金资助项目(No.60576056);长春市高技术成果产业化计划项目(No.2006303)
中文摘要:

透明非晶态氧化物半导体薄膜晶体管(TAOS-TFT)以其诸多优势受到研究人员的青睐,最近几年发展迅速。文章以传统薄膜晶体管做对照,详细介绍了TAOS-TFT的原理、结构和性能,总结出TAOS-TFT相对于Si基TFT具有制备温度低、均一性好、迁移率高、对可见光全透明和闽值电压低等5方面的优势,指出了TAOS-TFT在进一步实用化过程中所面临的几个重要问题,其中最为重要的是需要尽快建立自身的集约化物理模型。

英文摘要:

Transparent amorphous oxide semiconductor thin film transistor (TAOS-TFT) are attracting interest for its several advantages for applications in the new generation display technology. Especially in recent years it develops rapidly. In this paper, five major advantages about TAOS-TFT are elaborated in detail by means of the contrast of traditional thin film transistors. For example, the low temperature of fabrication, good homogeneity, the high mobility, the full transparency to visible light, the good performance of combination property of devices. Several crucial problems are also indicated about TAOS-TFT, such as, the in-depth study of metals component in mixed-oxide films, the further study of the influence of external environment (including bending stress, temperature, humidity, etc. ) upon performance of the device, the further optimization for the preparation of the device, developing compact model with its own characteristics, and the requirements of the development and utilization of the metal element with a low crustal abundance.

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期刊信息
  • 《液晶与显示》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国光学光电子行业协会液晶分会 中国物理学会液晶分会
  • 主编:郭海成
  • 地址:长春市东南湖大路3888号
  • 邮编:130033
  • 邮箱:yjxs@ciomp.ac.cn
  • 电话:0431-86176059
  • 国际标准刊号:ISSN:1007-2780
  • 国内统一刊号:ISSN:22-1259/O4
  • 邮发代号:12-203
  • 获奖情况:
  • 中国科学论文统计源期刊,中国科学引文数据库来源期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版)
  • 被引量:5470