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不同衬底上氧化锌薄膜的金属有机化学气相沉积方法生长
  • ISSN号:1007-2780
  • 期刊名称:《液晶与显示》
  • 时间:0
  • 分类:TN304.21[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]吉林建筑工程学院电气与电子信息学院,吉林长春130021, [2]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033, [3]吉林大学电子科学与工程学院,吉林长春130012, [4]吉林大学化学学院,吉林长春130012
  • 相关基金:Supported by NCET (No. 05-0326); NSFC (No. 60576054, 60576043, 60576056, 60876013); Project of Changchun Science and Technology Plans (No. 2006303) ; Project of Ministry of Construction P. R. China and Department of Education of Jilin Province
中文摘要:

氧化锌薄膜通过金属有机化学气相沉积方法生长在康宁玻璃与α-蓝宝石衬底上,研究了有关薄膜的生长质量与发光特性。通过X光衍射方法测试研究发现,不仅在以α-蓝宝石为衬底的样品中,同时,在以玻璃为衬底的样品中都发现了氧化锌(002)方向生长的尖峰,表明生长在两种衬底上的样品都是高度的C向生长。对两种样品的荧光谱研究发现,两者的紫外峰位于374nm附近,在以α-蓝宝石为衬底的样品中,有深能级发射,但在以玻璃为衬底的样品中没有发现,表明在玻璃衬底上我们生长出了高质量的氧化锌薄膜。通过原子力显微镜,对生长在两种衬底上薄膜的表面形貌做了观察,其晶粒的大小与表面粗糙度有一定的差别,表明二者都是以柱状形式生长的。

英文摘要:

ZnO thin films were grown on two kinds of substrates of Corning glass and α-Al2O3 by metal organic chemical vapor deposition. The properties of the films were studied. It was found the sharp diffraction peak for ZnO (002) by X-ray diffraction method, not only in the sample of the substrate of α-Al2O3(A), but also in the sample of the substrate of Corning glass(B), showing the two samples were highly c-axis oriented. The photoluminescence (PL) spectra of the ZnO films were studied. The UV emission at ~374 nm was found in sample A and B. The deep level enfissions was found in the sample A, but not in the sample B, showing that the high quality ZnO films was grown on the substrate of glass. The surface morphology was studied by the AFM also. Though the average size of grain and the RMS(root-mean square) value of the two samples is different, comparing sample A with B, the result shows that sample A is more smooth. It can be found that the samples A and B were all grown in a column by-column growth process.

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期刊信息
  • 《液晶与显示》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国光学光电子行业协会液晶分会 中国物理学会液晶分会
  • 主编:郭海成
  • 地址:长春市东南湖大路3888号
  • 邮编:130033
  • 邮箱:yjxs@ciomp.ac.cn
  • 电话:0431-86176059
  • 国际标准刊号:ISSN:1007-2780
  • 国内统一刊号:ISSN:22-1259/O4
  • 邮发代号:12-203
  • 获奖情况:
  • 中国科学论文统计源期刊,中国科学引文数据库来源期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版)
  • 被引量:5470