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Digital-division-mask technique by binary coding for microstructure fabrication
  • ISSN号：1842-6573
  • 期刊名称：Optoelectronics and Advanced Materials-Rapid Commu
  • 时间：2012.1.1
  • 页码：313-318
  • 相关项目：数字光刻动态成像关键技术的研究
作者： 罗宁宁|高益庆|张志敏|肖孟超|
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期刊论文 21 专利 5
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