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Research on dynamical-gradual greyscale digital mask lithography
  • ISSN号：0950-0340
  • 期刊名称：Journal of Modern Optics
  • 时间：2011
  • 页码：573-579
  • 相关项目：数字光刻动态成像关键技术的研究
作者： Gao, Yiqing|He, Shuai|Luo, Ningning|Rao, Yufang|
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