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He and H sequential implantation induced surface blistering and exfoliation of Si covered with oxide
ISSN号:1674-1137
期刊名称:Chinese Physics C
时间:0
页码:1-6
相关项目:He和H离子注入Si基材料引起的表面剥离及机理研究
作者:
Zhuo Wang|Yujie Gao|Mengkai Li|Fei Zhu|Dacheng Zhang|Changlong Liu|
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期刊信息
《中国物理C:英文版》
中国科技核心期刊
主管单位:中国科学院
主办单位:中国物理学会 中国科学院高能物理研究所 中国科学院近代物理研究所
主编:王贻芳
地址:北京市玉泉路19号(乙)
邮编:100049
邮箱:cpc@mail.ihep.ac.cn
电话:010-88235947
国际标准刊号:ISSN:1674-1137
国内统一刊号:ISSN:11-5641/O4
邮发代号:2-522
获奖情况:
2000年获中国科学院优秀期刊评比一等奖,中国期刊方阵“双百”期刊
国内外数据库收录:
俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国剑桥科学文摘,美国科学引文索引(扩展库),英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,英国英国皇家化学学会文摘
被引量:189