用于MEMS 惯性器件的低噪声读出电路设计
- ISSN号:1003-353X
- 期刊名称:半导体技术
- 时间:0
- 页码:1162-1165
- 语言:中文
- 相关项目:基于简并-解并原理的自参比高灵敏度生化检测微陀螺
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期刊信息
- 主管单位:中国电子科技集团公司
- 主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
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- 国际标准刊号:ISSN:1003-353X
- 国内统一刊号:ISSN:13-1109/TN
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