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一种硅微谐振式压力传感器的敏感
  • 期刊名称：传感技术学报.19(5).1855-1858，2006.10
  • 时间：0
  • 相关项目：基于MEMS的微自适应结构灵巧蒙皮技术研究
作者： 任森，苑伟政*，邓进军
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