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FABRICATION OF SU-8-BASED ELECTRO-OPTIC SWITCH USING All-WET ETCHING TECHNIQUE
  • ISSN号:0217-9849
  • 期刊名称:Modern Physics Letters B
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  • 相关项目:硅基聚合物单芯片多功能集成平面光波导器件的基础研究
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