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Formation of Au-Al alloy on silicon for polymer modulator electrode application
  • ISSN号:0169-4332Electronic Resource Number: 10.1016/s0169-4332(03)00702-5
  • 期刊名称:APPLIED SURFACE SCIENCE
  • 时间:2014.4.15
  • 页码:137-141
  • 相关项目:硅基聚合物单芯片多功能集成平面光波导器件的基础研究
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