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Control of N/N(2) species ratio in NO plasma for p-type doping of ZnO
  • ISSN号:0021-8979
  • 期刊名称:Journal of Applied Physics
  • 时间:2011.9.9
  • 页码:053305-
  • 相关项目:基于原子层镶嵌方法的氧化锌p型掺杂研究
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