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基于驻留时间补偿的抛光误差控制方法
  • 期刊名称：强激光与粒子束
  • 时间：0
  • 页码：97-100
  • 语言：中文
  • 相关项目：光学抛光加工中的中高频面形误差形成机理研究
作者： 袁家虎|万勇建|施春燕|伍凡|
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