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应力抛光技术加工抛物面的实验研究
  • ISSN号:1003-501X
  • 期刊名称:《光电工程》
  • 时间:0
  • 分类:TH74[机械工程—光学工程;机械工程—仪器科学与技术;机械工程—精密仪器及机械]
  • 作者机构:[1]中国科学院光电技术研究所,成都610209, [2]中国科学院研究生院,北京100039
  • 相关基金:国家自然科学基金资助项目(60808017)
中文摘要:

大口径非球面加工技术一直是先进光学制造领域研究的前沿课题,本文开展了以大型非球面应力抛光技术(SMP)为核心的相关先进光学制造技术的研究。研究了应力抛光技术的原理及算法,以加工一块口径为φ314mm,F/7的抛物面镜为例,验证应力抛光技术的合理性和有效性。采用干涉仪检测抛光结束的抛物面其峰值(PV)为3.3172,均方根(rms)为0.489λ。结果表明,应力抛光技术能够以较高精度、快速地形成旋转对称的抛物面,其面形误差满足或接近于非球面面形的精度要求。

英文摘要:

Fabrication of large aspheric mirror continues to be a challenge in the research field about advanced optical manufacture. Some advanced optics manufacturing research, which focused on large aspheric mirror manufactured by Stressed Mirror Polishing (SMP), is developed. SMP based on mechanics of elasticity is a novel aspheric fabrication technology that could transform aspheric optical fabrication technology into sphere optical fabrication technology, which greatly improve the fabrication efficiency. Take fabricating a paraboloid mirror of φ314 mm diameter and F/7 for example to analyze the optical fabrication technology progress of paraboloid in stressed-state. Rationality and effectiveness of SMP were investigated. Establishing measurement system of sphere and paraboloid to analyze the experiment result and adopting interferometer to get surface shape of finished paraboloid, PV=3.3172, rms=0.489)o. The results indicate that the method of the SMP can be used to produce the revolution axisymmetric paraboloid mirrors with high precision and efficiency

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期刊信息
  • 《光电工程》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国科学院光电技术研究所 中国光学学会
  • 主编:罗先刚
  • 地址:四川省成都市双流350信箱
  • 邮编:610209
  • 邮箱:oee@ioe.ac.cn
  • 电话:028-85100579
  • 国际标准刊号:ISSN:1003-501X
  • 国内统一刊号:ISSN:51-1346/O4
  • 邮发代号:62-296
  • 获奖情况:
  • 四川省第二次期刊质量考评自然科学期刊学术类质量...,四川省第二届优秀期刊评选科技类期刊三等奖
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:14003