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被动半刚性磨盘在平滑中频误差中的应用
  • 期刊名称:强激光与粒子束
  • 时间:0
  • 页码:319-322
  • 语言:中文
  • 相关项目:光学抛光加工中的中高频面形误差形成机理研究
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