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运动轨迹对抛光误差的影响分析和轨迹优化研究
  • 期刊名称：光学学报
  • 时间：0
  • 页码：260-264
  • 语言：中文
  • 相关项目：光学抛光加工中的中高频面形误差形成机理研究
作者： 袁家虎|万勇建|施春燕|伍凡|
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