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气体循环条件下等离子体喷射CVD
  • 期刊名称：北京科技大学学报2007,29(11):1133-1137
  • 时间：0
  • 相关项目：金属双过渡层界面结构及其在沉积金刚石厚膜中的力学行为
作者： 牛得草,李成明,刘政,郭世斌,吕反
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