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Measurement of static and dynamic friction coefficients of sidewalls of bulk-microfabricated MEMS de
  • ISSN号：0924-4247
  • 期刊名称：Sensors and Actuators A-Physical
  • 时间：0
  • 页码：863-869
  • 语言：英文
  • 相关项目：微/纳摩擦学
作者： Wu, Hao|Guo, Zhanshe|Meng, Yonggang|Su, Caijun|Wen, Shizhu|
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微/纳摩擦学
期刊论文 36 会议论文 4 专利 2 著作 2
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