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A double common-path heterodyne interferometer for the measurement of flying height modulation
  • ISSN号：0957-0233
  • 期刊名称：Measurement Science & Technology
  • 时间：0
  • 页码：610-614
  • 语言：英文
  • 相关项目：微/纳摩擦学
作者： Yin, Chunyong|Yue, Zhaoyang|Lin, Dejiao|Song, Nanhai|Meng, Yonggang|
同期刊论文项目
微/纳摩擦学
期刊论文 36 会议论文 4 专利 2 著作 2
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