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氮原子离子束源的设计研制与应用
期刊名称:真空科学与技术
时间:0
作者或编辑:3448
页码:23(1),(2003)47-49
语言:中文
相关项目:低能氮离子注入金刚石薄膜的氮化改性研究
作者:
王培元|沈宏|秦宗益|应萱同|王培南|
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