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氮原子离子束源的设计研制与应用
  • 期刊名称:真空科学与技术
  • 时间:0
  • 作者或编辑:3448
  • 页码:23(1),(2003)47-49
  • 语言:中文
  • 相关项目:低能氮离子注入金刚石薄膜的氮化改性研究
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