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Generation of nitrogen beams with very high N /N2 ratio using hollow cathode discharge
  • 期刊名称:Vacuum
  • 时间:0
  • 作者或编辑:3448
  • 页码:77(2) (2005) 157-162
  • 语言:英文
  • 相关项目:低能氮离子注入金刚石薄膜的氮化改性研究
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