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Characterization of the high voltage pulsed discharge plasma of ammonia by emission spectroscopy
  • 期刊名称:Chinese Physics
  • 时间:0
  • 作者或编辑:3448
  • 页码:11(3) (2002) 260-265
  • 语言:英文
  • 相关项目:低能氮离子注入金刚石薄膜的氮化改性研究
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