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Modeling and simulation of Lag Effect in Deep Reactive Ion Etching Process
  • ISSN号：0960-1317
  • 期刊名称：Journal of Micromechanics and Microengineering
  • 时间：0
  • 页码：2570-2575
  • 语言：英文
  • 相关项目：MEMS设计自动化关键技术与系统研究
作者： Yiyong Tan|Guizhang Lu|Rongchun Zhou|Haixia Zhang|Zhihong Li|
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MEMS设计自动化关键技术与系统研究
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