欢迎您！东篱公司
退出
-
申报数据库
-
立项数据库
-
成果数据库
-
项目获奖数据库
位置：立项数据库 > 立项详情页
中文摘要：
MEMS是利用硅工艺制造的微小部件、器件以及由它们构成的系统。MEMS技术面临的一个重要问题就是如何在现有的工艺技术条件下设计出能更好地实现特定应用目的器件。本课题的工作就是针对这一问题开展的，工作的核心是解决MEMS 设计自动化中的几项关键技术问题。具体来说，本课题是围绕MEMS工艺流程与版图的自动设计、基于技能知识和过程虚拟的虚拟MEMS 制造技术以及柔性体振动的虚拟运行分析方法三项关键技术展开，并将上述关键技术集成到一个完整的MEMS 设计系统中来验证技术的有效性。课题的工作对于提早发现并解决MEMS 器件设计中的问题，提高MEMS器件设计的有效性和工作效率具有重要意义。课题工作取得的主要成果包括1,实现了MEMS工艺流程与版图的自动设计；2,实现了基于技能知识和过程虚拟的虚拟MEMS制造系统;3,实现了柔性体振动的虚拟运行分析方法和软件系统;4,完成了基于上述技术的系统集成和验证过程。
结论摘要：
英文主题词MEMS;Design Automation;Virtual Reality;Virtual Manufacture
成果综合统计
期刊论文
会议论文
专利
获奖
著作
期刊论文
会议论文
相关项目
卢桂章的项目
