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《多功能复合离子镀膜机的研制》
  • 期刊名称：真空,Vol.42，No.1，Jan. 2005，P36- - 38
  • 时间：0
  • 相关项目：离子刻蚀用大面积矩形射频离子束源及刻蚀工艺的关键技术研究
作者： 陈庆川、童洪辉等
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