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《10cm×30cm矩形射频离子束源的
  • 期刊名称：《核技术》2006.10，734-737
  • 时间：0
  • 相关项目：离子刻蚀用大面积矩形射频离子束源及刻蚀工艺的关键技术研究
作者： 苏志伟、陈庆川、韩大凯
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