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《矩形射频ICP离子束源天线设计
  • 期刊名称：《核聚变与等离子体》已录用
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  • 相关项目：离子刻蚀用大面积矩形射频离子束源及刻蚀工艺的关键技术研究
作者： 苏志伟、陈庆川、韩大凯
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