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Low-temperature crystallization and hardness enhancement of alumina films using the resputtering tec
  • ISSN号:0022-3093
  • 期刊名称:Journal of Non-Crystalline Solids
  • 时间:2012.12.12
  • 页码:34-39
  • 相关项目:四面体非晶碳为固贴式薄膜体声波谐振器布喇格反射栅高声阻抗材料的研究
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