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Growth and characterization of yttrium oxide films by reactive magnetron sputtering
  • ISSN号:0040-6090
  • 期刊名称:Thin Solid Films
  • 时间:2011.5.5
  • 页码:4894-4898
  • 相关项目:四面体非晶碳为固贴式薄膜体声波谐振器布喇格反射栅高声阻抗材料的研究
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