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Surface passivation of In0.83Ga0.17As photodiode with high-quality SiN layer fabricated by ICPCVD at
  • ISSN号:1350-4495
  • 期刊名称:Infrared Physics & Technology
  • 时间:2013.10.10
  • 页码:12-17
  • 相关项目:新型近红外多谱段探测器片上集成技术及环境适应性机理研究
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