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Surface passivation of In0.83Ga0.17As photodiode with high-quality SiN layer fabricated by ICPCVD at
ISSN号:1350-4495
期刊名称:Infrared Physics & Technology
时间:2013.10.10
页码:12-17
相关项目:新型近红外多谱段探测器片上集成技术及环境适应性机理研究
作者:
Peng Wei ,|Xue Li|Tao Li|Hengjing Tang|Honghai Deng|Ming Shi|Haimei Gong|
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