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GaAs基上的InAs量子环制备
  • ISSN号:1000-3819
  • 期刊名称:《固体电子学研究与进展》
  • 时间:0
  • 分类:TN304.054[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]中国科学院半导体研究所,北京100083
  • 相关基金:国家重点基础研究专项经费(No.G2000068303);国家自然科学基金(No.90301007,90101004,60290084);国家高技术研究与发展项目(No.2002AA311170)
中文摘要:

在分子束外延系统中,利用3nm GaAs薄盖层将InAs自组装量子点部分覆盖,然后在500℃以及As2气氛中退火一分钟,制成纳米尺度的InAs量子环。这一形成敏感地依赖于退火时的生长条件和生长InAs自组装量子点时的淀积量。InAs在GaAs表面的扩散以及同时发生的In—Ga互混控制着InAs量子环的形成。

英文摘要:

Nano-sized InAs quantum rings were fabricated on GaAs substrate by molecular beam epitaxy by partly capping the InAs self-resembled quantum dots (SAQDs) with 3 nm GaAs thin cap and annealing for 1 minute at 500℃ in As2 atmosphere. The formation of quantum rings sensitively depends on the annealing temperature and As pressure together with the initial sizes of the InAs SAQDs. The redistribution of InAs on the GaAs surface, together with the simultaneous In-Ga alloying controls the formation of quantum rings.

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期刊信息
  • 《固体电子学研究与进展》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国电子科技集团公司
  • 主办单位:南京电子器件研究所
  • 主编:杨乃彬
  • 地址:南京中山东路524号(南京160信箱43分箱)
  • 邮编:210016
  • 邮箱:gtdz@chinajournal.net.cn
  • 电话:025-86858161
  • 国际标准刊号:ISSN:1000-3819
  • 国内统一刊号:ISSN:32-1110/TN
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 中国期刊方阵双效期刊,江苏省第六届优秀期刊,工信部09-10年期刊编辑质量优秀奖
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:2461