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The Analysis and Design of a Large Stroke with High-precision Polarized Laser Interferometer System
  • ISSN号：0878-492569
  • 期刊名称：Key Engineering Materials
  • 时间：2016
  • 页码：129-134
  • 相关项目：振动接触式3D纳米测头触发机理及应用研究
作者： 武万多|黄强先|
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