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A long-stroke 3D contact scanning probe for micro/nano coordinate measuring machine
  • ISSN号：0141-6359
  • 期刊名称：Precision Engineering
  • 时间：2016
  • 页码：220-229
  • 相关项目：振动接触式3D纳米测头触发机理及应用研究
作者： 李瑞君|黄强先|
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