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含铜螯合物的感光性与CuO的微细图形研究
  • ISSN号:1002-185X
  • 期刊名称:《稀有金属材料与工程》
  • 时间:0
  • 分类:TB383[一般工业技术—材料科学与工程]
  • 作者机构:[1]西安理工大学,陕西西安710048
  • 相关基金:国家自然科学基金项目(50772088)和西安应用材料创新基金(XA-AM-200611)
中文摘要:

以苯酰丙酮[BzAc]作为化学修饰剂,采用溶胶一凝胶法合成了含铜的螯合物,研究了含铜螯合物的紫外、红外光谱特性。发现在330nm处有与含铜螯合物相关的吸收峰,当紫外光照射该凝胶薄膜后,与含铜螯合物相关的吸收峰逐渐变弱,含铜螯合物分解。伴随着螯合物的分解,其凝胶薄膜在有机溶剂中的溶解性迅速降低,从而表现出紫外光感应特性,利用这种光感应特性,可获得该凝胶薄膜的微细图形。再经过500℃热处理,得到了具有立方相氧化铜薄膜的微细图形。

英文摘要:

Copper chelates were prepared by sol-gel process using benzalacetone (BzAcH) as chemical modification. The UV-absorption spectra and FT-IR spectra of the copper chelates were investigated. The UV absorption peak corresponding to the chelate was detected at around 330 nm, and it weakened after UV irradiation. These findings show that the UV irradiation will dissociate the chelate. Due to the dissociation of the chelate complex, the solubility in some organic solvents is remarkably decreased. Utilizing the photosensitivity, the fine patterning of the gel films was prepared by irradiating the gel film with UV light through a pattern mask and dissolving the non-irradiated area in suitable solvent and annealing at 500 ℃. The results of XRD pattern test show that the CuO fine pattern films are of cubic phase.

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期刊信息
  • 《稀有金属材料与工程》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学技术协会
  • 主办单位:中国有色金属学会 中国材料研究学会 西北有色金属研究院
  • 主编:张平祥
  • 地址:西安市51号信箱
  • 邮编:710016
  • 邮箱:RMME@c-nin.com
  • 电话:029-86231117
  • 国际标准刊号:ISSN:1002-185X
  • 国内统一刊号:ISSN:61-1154/TG
  • 邮发代号:52-172
  • 获奖情况:
  • 首届国家期刊奖,中国优秀期刊一等奖,中国有色金属工业优秀期刊1等奖
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国科学引文索引(扩展库),英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:24715